产品介绍
氧化铝(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供应纯度为99.5%和99.9%的产品。
半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘);粉碎机部件(分级机、气流式粉碎机、珠磨机);一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承);高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具);耐磨耗部件(拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨);电绝缘部件(绝缘子、垫片、衬套)。
○ 氧化铝是白色或乳白色的陶瓷,利用其优异的电绝缘性能,早期开始即应用在电子部品上,使用量较多,是精密陶瓷中成本很低的材质。
○ 我司供应纯度为99.5%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异,可生产大型产品。
○ 此外,由于其具有优异的耐等离子特性,也可用于CVD设备或蚀刻设备的部件。
型号 |
特点 |
密度 |
杨氏弹性模量 |
弯曲强度 |
断裂韧性 |
热膨胀系数 |
热传导率 |
体积电阻 |
|
|
[g/cm3] |
[GPa] |
[MPa] |
[MPa・m1/2] |
[×10-6/K] |
[W/m・K] |
[Ω・cm] |
氧化铝99.5% |
用途广泛高刚性 |
3.9 |
370 |
440 |
3~4 |
6.3 |
33 |
>1014 |
氧化铝99.9% |
高纯度高刚性 |
3.9 |
370 |
450 |
3~4 |
6.3 |
30 |
>1014 |